低温等离子体属于非平衡等离子体，其电子温度高达104K以上，而离子和原子之类的重粒子温度却可低到300-500K。这意味着，一方面电子具有足够高的能量以使反应物分子激发、离解和电离；另一方面，整个反应体系又能保持宏观的低温，乃至接近室温。因此，低温等离子体得到了非常广泛的应用。
低温等离子体具有极强的化学活性，在室温下可以引起多种化学反应或物理刻蚀，而基质材料的本体性能不受影响。通过低温等离子体表面处理，材料表面发生多种的物理，化学变化，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团，使材料表面清洁、活化，改善材料表面的亲水性、粘结性、可染色性、生物相容性及电性能。它的这种特殊性能可以对塑料、橡胶、金属、半导体、陶瓷和玻璃、复合物、纺织品、泡沫等材料的表面进行处理，达到改性、接枝、清洗、消毒杀菌等目的，因此可以广泛应用于汽车、航空、家用电器、包装材料、医疗器械、电子、机械、建筑、纺织和生物医学工程等领域。
和传统的湿法表面处理相比，利用低温等离子体进行材料改性处理存在许多优势。低温等离子体改性是一种干式工艺，省去了湿法化学处理工艺中所不可缺少的烘干、废水处理等工序。而与放射线处理、电子束处理等其它干式工艺相比，低温等离子体处理具有不影响材料体相的优点。利用放射线或电子束处理时，由于穿透力大，会导致材料体相的破坏。此外，低温等离子体改性与材料表面的作用形式多，工艺的适用范围广，便于连续性自动化生产。因此，归纳低温等离子体改性，具有以下特点：
1）干式工艺，无需进行废液、废气的处理，因而节省能源，降低成本；
2）作用时间短，效率高；
3）改性只发生在表面层(几个埃到微米级)，因而不影响基体固有性能；
4）工艺简单，操作较方便，污染小，适合环境保护的需要。
