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研究课题
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研究课题:激光化学气相沉积法制备高温超导薄膜研究
2019-12-19 07:46  

  高温超导研究团队主要致力于激光化学气相沉积法制备各种功能、结构薄膜例如YBa2Cu3O7CeO2LaMnO3SrTiO3Al2O3TiN等。高温超导研究团队已自主研发出先进的智能激光化学气相沉积设备,设备配备的喷液雾化-多元共析液体原料供给系统,不仅能长时间提供精确、稳定、持续的蒸气,解决了原料浪费严重的难题,能精准控制混合原料蒸气的各金属元素比例,从而方便、快捷地制备各种成分复杂的薄膜(例如:YBa2Cu3O7超导薄膜)。

   

  设备配备的闭环激光加热系统能形成温度均匀的能量场,将普通化学气相沉积的加热温度(最高1000 °C)提高至1900°C,籍此用来制备高合成温度的结构薄膜(如:SiCAl2O3TiN等)。设备搭载的智能操控程序,可自动、精准控制薄膜每个沉积步骤,实现薄膜制备过程的智能化操作。

   

  高温超导研究团队采用智能化激光化学气相沉积设备已成功制备各种性能优越的薄膜。例如,在(100) SrTiO3单晶上制备的透明的CeO2单晶薄膜(普通化学气相沉积法无法制得),在HastelloyC276合金带材基板上高速制备的第二代YBa2Cu3O7高温超导薄膜,其临界电流密度高达1.6 MA/cm2(工业化要求为1.0MA/cm2),为工业化应用打下基础。    

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