实验室满卫东教授课题组在超纳米晶粒金刚石膜研究方面取得进展,满教授团队用一种混合CVD方法来研究镜面效果的超纳米晶粒(UNCD)金刚石膜的制备。在直径50毫米的硅基底表面的UNCD的形核和生长分别用微波CVD和直流辉光放电CVD方法。结果表明,用微波CVD法进行等离子体的处理,可以使超纳米金刚石薄膜的形核密度达到1*1011 cm-2。然后用直流辉光放电CVD制备出了大面积镜面UNCD薄膜,厚度达到24微米;晶粒大小约7.1纳米。并对生长UNCD薄膜的生长机理进行了探讨。
相关研究成果发表在2016年第5期的SCI期刊PlasmaScience and Technology上,文章链接为:http://iopscience.iop.org/article/10.1088/2058-6272/aa57f7/meta;jsessionid=41EA0CAD6345CFBB3F628A75FC82D35A.c4.iopscience.cld.iop.org#