省重点实验室赵培教授团队通过近几年的努力攻关,利用自行研制的激光化学气相沉积装置制备出了各种性能优越的薄膜,包括YBa2Cu3O7、CeO2、LaMnO3、SrTiO3、Al2O3及TiN等。
高温超导研究团队采用激光化学气相沉积法制备的透明CeO2单晶薄膜的透射光谱示意图,插入的图(a)和图(b)分别为不同激光功率下的CeO2单晶薄膜实物图。
高温超导研究团队采用激光化学气相沉积法制备的YBCO超导薄膜的TEM照片(a)、电子衍射花样(b)、I-V曲线图谱(c)、薄膜的XRD极图衍射花样(d)以及其外延模式示意图(e)。
团队通过在设备上配备“喷液雾化-多元共析液体原料供给系统”和“闭环激光加热系统”,能在腔体内形成温度均匀的能量场,保证长时间提供精确、稳定、持续的蒸气,解决了原料浪费严重的难题,还能精准控制混合原料蒸气的各金属元素比例,从而方便、快捷地制备各种成分复杂的薄膜。在(100) SrTiO3单晶上制备的透明的CeO2单晶薄膜,在HastelloyC276合金带材基板上高速制备的第二代YBa2Cu3O7高温超导薄膜,其临界电流密度高达1.6 MA/cm2(工业化要求为1.0MA/cm2)。