等离子体技术及其应用方向：

(a)在等离子体技术研究方面，继续开展等离子体的诊断研究，包括微波ECR等离子体的朗缪尔探针诊断和等离子体发射光谱诊断研究，掌握不同激发条件下等离子体中电子温度、电子密度以及活性基团种类等的变化规律，以此来指导各自功能薄膜的沉积过程；进一步加快大功率高稳定度微波源、大功率微波等离子体化学气相沉积反应装置的成果转化；完成大面积、高密度微波等离子体反应腔设计与应用研究，为微波等离子体技术的工业应用提供理论指导；开展常压微波等离子体产生及应用研究，获得常压等离子体稳定形成的条件，为具有重要工业应用的等离子体源的研制工作提供理论基础；

(b) 在等离子体技术的应用方面，在国家自然科学基金的资助下，对金刚石膜的制备过程进行更深入的研究，掌握控制大面积光学级金刚石窗口沉积过程的内在规律，争取实现金刚石膜的产业化；

  通过上述研究，强化我校在微波等离子体技术研究领域的国内领先地位，在等离子体技术及其在新材料制备的应用方面形成拥有自主知识产权的专利技术，力争在此基础上获得国家级科技奖励，并实现部分成果的产业化，为国家和区域经济发展服务。