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大型仪器——10万元以上大型仪器设备一览表
序号 仪器设备名称
1 ECR刻蚀机
2 等离子体CVD金刚石装置
3 程控微波源
4 磁控溅射镀膜机
5 超音速氧喷枪
6 激光焊接机
7 微波萃取仪
8 星型等离子体装置
9 热丝CVD镀膜装置
10 微波等离子体CVD装置

等离子体化学与新材料重点实验室版权所有
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