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开放课题
序号 项目名称 负责人 负责人所在单位 起止时间 经费(万元)
1 低温等离子体溅射沉积过渡金属
掺杂ZnO基稀磁半导体薄膜
诸葛兰剑 苏州大学 2005.6- 2006.12 1.0
2 CH4+离子与Ar,H2的碰撞和反应特性研究 管桦 中科院物理数学所 2005.6- 2006.12 1.0
3 微波等离子CVD高取向金刚石膜
的工艺及机理研究
王琳 武汉理工大学 2005.6-2006.12 1.0
4 辉光放电沉积制备含钛功能膜研究 何翔 中南民族大学 2005.6-2006.12 1.0

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